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光罩盒

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光罩盒（Mask Package），意為儲存光罩的盒子，主要用於避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染[1]。

分類

  • 光罩運輸盒：由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用；
  • 光罩廠區內部運輸盒；
  • 光罩機台傳送盒：將光罩送入機台的盒子，針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。

參照

參考文獻

  1. ^ 光罩載具. [2010-03-19]. （原始內容存檔於2018-12-10）. 
取自「https://zh.wikipedia.org/w/index.php?title=光罩盒&oldid=79285009」