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光罩盒

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光罩盒（Mask Package），意为储存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染[1]。

分类

  • 光罩运输盒：由光罩制作厂运输至晶圆厂间运输用；
  • 光罩厂区内部运输盒；
  • 光罩机台传送盒：将光罩送入机台的盒子，针对特定的设备使用不同的传送盒。其中包括非SMIF系统和SMIF系统。

参照

参考文献

  1. ^ 光罩載具. [2010-03-19]. （原始内容存档于2018-12-10）. 
检索自“https://zh.wikipedia.org/w/index.php?title=光罩盒&oldid=79285009”