射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻範圍（約3KHz～300GHz）內、具有一定功率的電源。[1]
射頻電源已廣泛應用於半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產業；科學實驗中的電漿體發生；射頻感應加熱；醫療美容；常壓電漿體消毒清洗等。[2]
