彈性反衝探測分析

彈性反衝探測分析技術（Elastic Recoil Detection Analysis，ERDA），也被稱作前向反衝散射（譜），是一種離子束分析技術，被用在材料科學中，用以分析、測量固體或薄膜材料中某種元素的深度分佈。使用加速器將某一能量的離子束打到待測樣品上，離子與靶固體中的某種元素的原子發生彈性碰撞，一般是由庫侖力造成的。通過入射離子的動能、彈性碰撞反應截面、散射離子損失的能量等參數，可以檢測待測原子在樣品中不同深度的富集程度，即不同深度處某種原子所佔的比例。