氧空位

對於金屬氧化物，如果在特定外界環境下（比如高溫），會造成晶格中的氧脫離，導致氧缺失，形成氧空位，缺陷方程可以表示為O=1/2O₂+Vo.對於金屬氧化物，其氧空位是缺陷的一種。

由於在氧化物中相對於氧，其他元素的電負性一般小於氧，所以當失去氧時，相當於取走一個氧原子加上兩個帶正電的電子-空穴，如果這兩個電子-空穴被束縛在氧空位上，說明氧空位一般帶正電。